簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "郭東昊".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="銅製程"


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    一種可做為銅矽間阻障層之超薄非晶氧化物薄膜的性質研究
    • 材料科學與工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 余東原 指導教授: 朱瑾
    • 本論文主要研究方向為利用氧化物(鈧酸鈥,HoScOx)非晶薄膜作為擴散阻障層以提升銅鍍層在矽上的高溫穩定性質。結果顯示HoScOx(x=3~4)具有高溫穩定性且為非晶薄膜,其結晶溫度高達900℃以上…
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    以射頻磁控濺鍍法沉積鈦酸鋇薄膜及其性質分析
    • 應用科技研究所 /98/ 博士
    • 研究生: 吳政惠 指導教授: 朱瑾
    • 本研究利用傳統固態反應法並藉由添加不同混合比例的氧化鑭 (La2O3) 或氧化釤 (Sm2O3) 製備含鑭及含釤之鈦酸鋇靶材,主要以添加物的混合莫爾比例來區分,依序為1%La、3%La、5%La、7…
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